設(shè)備參數(shù) | 全周期幀率（FPS） | 數(shù)據(jù)分辨率（百萬像素） | 中心物距（mm） | 標(biāo)準(zhǔn)視野范圍（mm） | 標(biāo)準(zhǔn)景深（mm） | Z軸重復(fù)精度（1σ）（um）*1 |
≤13.5 | 0.4 | 110 | 40x30 | ±10 | 1 | |
≤13.5 | 0.4 | 414 | 180x135 | ±45 | 3 |
*1以視野范圍四角為測量基準(zhǔn)面，使用盛相標(biāo)準(zhǔn)目標(biāo)件，全景深范圍內(nèi)，25 個矩形區(qū)域*2高度差測量值的最大σ值（100 次）
*2矩形的尺寸：標(biāo)準(zhǔn)視野范圍 1/100 尺寸的區(qū)域
