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設(shè)備 |
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全周期幀率（FPS） |
≤2.1 |
≤2.1 |
≤2.1 |
≤2.1 |
≤2.1 |
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數(shù)據(jù)分辨率 ( 百萬(wàn)像素 ) |
3.2 |
3.2 |
3.2 |
3.2 |
3.2 |
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中心物距 (mm) |
110 |
110 |
160 |
414 |
1500 |
|
標(biāo)準(zhǔn)視野 F0V (mm) |
20x15 |
40x30 |
80x60 |
180x135 |
600x450 |
|
Z 軸測(cè)量范圍 (mm) |
±2.5 |
±10 |
±20 |
±45 |
±300 |
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Z 軸重復(fù)精度 σ (μm)*1 |
1 |
1 |
1 |
3 |
75 |
*1以視野范圍四角為測(cè)量基準(zhǔn)面，使用盛相標(biāo)準(zhǔn)目標(biāo)件，全景深范圍內(nèi)，25 個(gè)矩形區(qū)域*2高度差測(cè)量值的最大σ值（100 次）
*2矩形的尺寸：標(biāo)準(zhǔn)視野范圍 1/100 尺寸的區(qū)域
